在精密光學(xué)、半導(dǎo)體測(cè)試/制造、激光加工、平板顯示器制造等行業(yè)中。通常需要多自由度的精密運(yùn)動(dòng)。當(dāng)需要處理大的表面時(shí)，所涉及的定位平臺(tái)的平面度規(guī)格(垂直偏差)特別重要，例如，為了減少離焦誤差。

　　什么是平面XY平臺(tái)？

　　堆疊式、集成式和平面式平臺(tái)設(shè)計(jì)之間的差異經(jīng)常被用戶(hù)誤解。根據(jù)定義，平面XY載物臺(tái)或XY工作臺(tái)使用X軸和Y軸移動(dòng)的公共參考平面。真正的平面運(yùn)動(dòng)不適用于交叉滾子軸承——它們用于堆疊集成設(shè)計(jì)。

　　堆疊、集成和平面XY載物臺(tái)

　　XY運(yùn)動(dòng)可以通過(guò)疊加兩個(gè)行程或類(lèi)型相近的直線(xiàn)平臺(tái)來(lái)實(shí)現(xiàn)(根據(jù)應(yīng)用要求也可以不同)。這種模塊化設(shè)計(jì)提供了靈活性。缺點(diǎn)-對(duì)于長(zhǎng)行程-行程結(jié)束時(shí)平面度誤差和俯仰/滾動(dòng)誤差增加，這是由于缺乏對(duì)上軸底部的支撐造成的。

　　龍門(mén)XY平臺(tái)(直角坐標(biāo)機(jī)器人平臺(tái))

　　龍門(mén)XY平臺(tái)是堆疊平臺(tái)設(shè)計(jì)的另一種形式。當(dāng)需要覆蓋重載的長(zhǎng)XY移動(dòng)距離，或者從上方掃描或加工固定工件時(shí)，通常使用龍門(mén)XY運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。需要具有特殊臺(tái)架控制算法的運(yùn)動(dòng)控制器來(lái)獲得最佳性能并避免束縛。龍門(mén)XY運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)有很多種，通常建立在花崗巖基座上，以提供超高的穩(wěn)定性和精度，通常用于激光加工、成像和計(jì)量應(yīng)用。

　　集成XY平臺(tái)(通常誤稱(chēng)為平面XY平臺(tái))可以制造成具有低輪廓，因?yàn)橹行陌寮扔米飨螺S的移動(dòng)頂板又用作上軸的移動(dòng)底板。一體式XY平臺(tái)通常具有正方形的占地面積，更寬的支座底座減少了上述由懸臂效應(yīng)引起的幾何誤差。就像堆疊的線(xiàn)性平臺(tái)一樣，它們確實(shí)停留在它們的中間位置范圍內(nèi)。

　　同類(lèi)型軸承(交叉滾子軸承、循環(huán)滾珠軸承等。)和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(絲杠、滾珠絲杠、直線(xiàn)電機(jī))可用于堆疊式直線(xiàn)平臺(tái)。

　　如果XY工作臺(tái)占用區(qū)域之外的移動(dòng)是不可接受的和/或需要最高的幾何性能，可以使用平面XY工作臺(tái)。平面XY平臺(tái)通?；诳諝廨S承、磁懸浮或(在短行程范圍內(nèi)非常流行的)柔性導(dǎo)軌。XY工作臺(tái)提供最高的幾何性能，最適合要求高精度的應(yīng)用，例如半導(dǎo)體晶片檢測(cè)中的常見(jiàn)應(yīng)用。

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